高精度平行光照射装置 特徴・用途 研究・開発 基本スペック 型式 UVS101SH/SD 寸法 1000(W)×850(D)×1350(H) ランプ ショートアークランプ 有効 200mm□ 操作仕様 PLC+GOTグラフィックオペレーションタッチ積算光量計