エキシマ洗浄装置
特徴・用途
基本スペック
- 装置寸法：1650（W）×500（D）×1570（H）
用 途：ガラス・ウエハー等表面洗浄・改質
仕 様：175nm 製品稼働式 N2パージ
特 長：必要光量（mj/c㎡）に合わせ移動スピード自動調整
- TEL
- 04-2936-8788
- 平日
- 08：30～17：30
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