スキャナ式平行光露光装置 シーイーエス

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スキャナ式平行光露光装置

スキャナ式平行光露光装置

特徴・用途

特殊長物(400×800)試料に対応
特殊平行光光源採用によりL/S30μを再現

基本スペック

型式
SS201H
寸法
2700(W)×1100(D)×2205(H)
ランプ
2000w 1灯式ショートアークランプ
有効エリア
約 400 × 800 mm
その他
PLC+GOTグラフィックオペレーションタッチ式積算光量計
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